在微电子行业，由于不同废水来源里的成分不同，且回收的水可被引入设施的位置不同，因此水回用系统的识别可能具有挑战性。有几种选择废水流及其处理后的回用点的策略。

杂质浓度最低的废水最适合回用到超纯水 (UPW) 系统中，而浓度最高的废水最适合非接触应用，如冷却塔和减排洗涤器。其它考虑因素是回用的目标，可能包括在当前生产水平下减少城市取水量，在扩大生产的同时保持取水量，或者只是减少设施的液体排放。

当利用现有的废水处理工艺时，残余污染物将需要减少到回用点水质标准规定的可接受水平内。废水经处理后，水回用系统中采用的最常见技术有：

• 高效过滤系统，最大限度地减少反洗废水
• 用于降低阴离子、金属离子、二氧化硅等的反渗透系统
• 使用常规紫外线 (UV) 或高级氧化 (AOP) 降低TOC

除处理设备外，流量均衡池、快速在线分析仪器和自动分流阀也是降低风险的常用设备。